1840 年，臭氧被發現，且因其獨特氣味而命名。
1906 年，法國尼斯市是設立全球第一座臭氧凈水廠。
1937 年，美國出現第一座使用臭氧處理的商業游泳池。
1940 年，美國印第安納州首度使用臭氧凈水處理。
1975 年，全美超過 1000 臭氧除臭裝置被安裝在污水處理場。
1982 年，瓶裝水開始使用臭氧殺菌。
1984 年，所有奧運的競賽泳池全部以臭氧處理。
1989 年，美國環保署頒布地表水處理法規(The Surface Water Treatment Rules) 納入臭氧殺菌CT值規范。
2000 年，全美約有300座自來水廠使用臭氧輔助處理水質。
2001 年，美國FDA正式核準臭氧可以和食品接觸，作為微生物抑制劑。

    我國臭氧技術起步較晚，上世紀 70 年代中期，國內開始進行臭氧技術的研究開發; 90  年代，隨著礦泉水、純凈水臭氧消毒技術的推廣應用，醫藥行業采用臭氧進行空氣殺菌處理，以及小型家用臭氧發生器的應用，促進了我國臭氧行業的發展。

    2000年后，我國工業用大型臭氧設備制造技術的研究取得大量成果，在臭氧放電管、熔斷器、中高頻電源等大型臭氧發生器制造的關鍵技術取得重大突破，相繼研制成功的 3-120kg/h 等大型中頻臭氧發生器，將中國臭氧技術逐步提升到國際先進水平。

    2010 年，《水處理用臭氧發生器 CJ/T322-2010》的實施，使我國臭氧發生器標準與國際先進標準接軌，對我國臭氧行業整體技術水平的提升和市場的規范起到重要作用。經過多年的發展，我國的臭氧系統設備制造技術水平和市場規模有了很大提高，并在市政給水、市政污水、工業廢水、煙氣脫硝、精細化工、泳池消毒、空間消毒、飲料食品等行業得到廣泛應用。