人類使用臭氧的100 年來，并沒有因為臭氧造成的永久性傷害及死亡的案例報導，但是使用臭氧作為空氣凈化劑，還是需要謹慎處理。職業安全與健康管理處（OSHA），食品及藥物管制局（the FDA），環保署（the EPA）對于臭氧的暴露劑量，已建立安全值的規范，應隨時注意。
在旅館客房使用臭氧作為除臭劑，是一個很大的市場，然而產品的使用說明書內，應說明使用臭氧機時，必須沒有人或動物在場。
    水及廢水處理系統應用臭氧時，也可能會產生臭氧尾氣排放的問題，至必須在設計時就予以考量。
    有關臭氧在空氣中的安全濃度如下：
FDA規范室內醫療設備臭氧輸出濃度不得高于0.05 ppm。
OSHA規定勞工在作業場所8小時所暴露的平均臭氧濃度不可高于0.10 ppm。
NIOSH建議臭氧的濃度在任何時候都不應超過0.10 ppm。
環保署(EPA)的周界空氣品質國家標準規定戶外臭氧8小時的平均濃度最大為0.08 ppm。

臭氧屬于有害氣體，對眼、鼻、喉有刺激的感覺，出現頭疼及呼吸器官局部麻痹等癥。其毒性與濃度和接觸時間有關，例如長期接觸4ppm（約8mg/m3）以下的臭氧會引起永久性心臟障礙，但接觸20ppm（約40mg/m3）以下的臭氧不超過2h，對人體無永久性危害。因此，臭氧濃度的允許值定為0.1ppm（約0.2mg/m3），接觸時間小于8h。由于臭氧的臭味很濃，濃度為0.1ppm時，人們就能明顯感覺到并能及時采取措施。世界上使用臭氧已有一百多年的歷史，至今也沒有發現一例因臭氧中毒而導致死亡的報道。